200mm SMIF POD晶圓傳送盒(OHT版本)
200mm SMIF POD晶圓傳送盒，尺寸皆符合SEMI規範，為傳送盒內放置Cassette，可固定晶圓片，確保200mm晶圓在製程站間運送與儲存的安全防護，並提供高潔淨度之晶圓承載與自動化解決方案。
多項獨家專利，小至濾膜大至底盤都有獨特設計讓particle產生有效減少。
客製化項目選擇