RSP光罩傳送盒

高潔淨度可杜絕空氣中的汙染， 提供6吋光罩在製程站間傳送與儲存時的高效能防護 ，應用於自動化曝光機台。

客製化項目選擇 

1. 雷射雕刻 
2. 支援RFID  
3. 支援OHT
4. 尺寸