200mm SMIF POD晶圓傳送盒

200mm SMIF POD晶圓傳送盒，尺寸皆符合SEMI規範，為傳送盒內放置Cassette，可固定晶圓片，確保200mm晶圓在製程站間運送與儲存的安全防護，並提供高潔淨度之晶圓承載與自動化解決方案。

多項獨家專利，小至濾膜大至底盤都有獨特設計讓particle產生有效減少。

客製化項目選擇

1. 雷射雕刻 
2. RFID 
3. 尺寸 
4. 背板與Barcode條碼板 
5. 把手/氣密膠條(顏色可以區分製程或年分) 
6. 抗UV Pod Shell 可供選擇
7. 可充氣式