公司簡介
凡是與半導體業相關的潔淨容器,我們都可以依客戶需求進行設計製作並通過客戶製程驗證的服務。
耀連科技在200mm SMIF Pod 相關國內外專利已經超過數十項以上並於2012年9月通過ISO 9001品質驗證。
產品與服務
SMIF Pod 晶圓傳送盒,傳送盒內放置Cassette,可固定晶圓片,確保200mm晶圓在製程站間運送與儲存的安全防護。尺寸皆符合SEMI規範,並提供高潔淨度之晶圓承載與自動化解決方案。
晶圓載具,承載半導體晶圓片適用於製程站間傳送或出貨用途,與晶舟盒搭配可儲存晶圓片並確保運輸安全。
高潔淨度可杜絕空氣中的汙染, 提供6吋光罩在製程站間傳送與儲存時的高效能防護 ,應用於自動化曝光機台。