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公司簡介
ABOUT

公司簡介

耀連科技股份有限公司

創立於2008年4月, 是一專業設計製造半導體潔淨容器的公司。  公司內部人員從2000年開始就與『台灣工業技術研究院機械所』技術合作開發200mm SMIF Pod , 已在行業累積多年的工作經驗並不斷吸收國內外先進技術, 能針對客戶的需求設計製造出符合要求的產品。

 

凡是與半導體業相關的潔淨容器,我們都可以依客戶需求進行設計製作並通過客戶製程驗證的服務。 

耀連科技在200mm SMIF Pod 相關國內外專利已經超過數十項以上並於2012年9月通過ISO 9001品質驗證。  

 
產品與服務
OUR PRODUCTS

產品與服務

SMIF POD

SMIF Pod 晶圓傳送盒,傳送盒內放置Cassette,可固定晶圓片,確保200mm晶圓在製程站間運送與儲存的安全防護。尺寸皆符合SEMI規範,並提供高潔淨度之晶圓承載與自動化解決方案。

Cassette

晶圓載具,承載半導體晶圓片適用於製程站間傳送或出貨用途,與晶舟盒搭配可儲存晶圓片並確保運輸安全。

RSP

高潔淨度可杜絕空氣中的汙染, 提供6吋光罩在製程站間傳送與儲存時的高效能防護 ,應用於自動化曝光機台。